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MFL2200D

MFL2200D

 詳情說明

適用於第6代(1500*1850mm)超大型液(yè)晶玻(bō)璃(lí)基板的高速搬運。
最大化利用長距離上下屈伸、低(dī)pass line以及雙手臂的特性,實(shí)現潔淨室內多層液晶玻璃基板箱體(tǐ)內的高速搬運(yùn)。

項目 規格
名稱 MOTOMAN-MFL2200D
機型 YR-MFL050D-A20
構造 水平多關節形(4個自由度)
負載(zǎi) 50kg/手臂
重複(fù)定位精度*1 ±0.2mm
動作範圍 U軸(上下軸) 2650mm

S軸(回轉軸) -215°~+215°

L,R軸(前後軸) -1675mm~+1675mm
動作時間*1
(最高速度(dù)運作時)
U軸(上下軸) 最大1330mm/s
S軸(回轉軸) 3.14rad/s,180°/s
L,R軸(前後軸) 最大3250mm/s
容許力矩 L,R軸(前後軸) 250N·m
容許(xǔ)慣性力(lì)矩(CD2/4) L,R軸(前後軸(zhóu)) 50kg·m2
標準噴塗色 孟塞爾munsell N9.5
本(běn)體質量 1020kg
潔淨度 ISO4
安置環境 溫度(dù) +15~+25°C
濕度 20~80%RH(不結露)
振動 4.9m/s2以下
其他 ·環境沒有引(yǐn)火性及腐(fǔ)蝕(shí)性氣體,液體
·遠離(lí)水
·遠離電子噪音(yīn)源
·安裝機器人水平麵水平度在0.5mm以下
電源容量*3 3.5kVA

*1:依據JIS B8432標準
*2:潔淨度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流(liú)風(fēng)速環境下,來確保工件搬運(yùn)麵以上潔淨度。
*3:根據用途、作業形式會有所(suǒ)不同。

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